ECR plasma로 전처리된 Cu seed층 위에 전해도금 된 Cu 막에 대한 Annealing의 효과

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Effects of Post-deposition Annealing on the Copper Films Electrodeposited on the ECR Plasma Cleaned Copper Seed Layer

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

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