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통계적 실험 방법을 이용한 티타늄실리사이드의 열적안정성 연구 KCI 등재 SCOPUS

Characterizing the Thermal Stability of TiSi2 Film by Using the Statistical Experimental Method

정성희, 송오성
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296145
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제13권 제3호 (2003.03)
pp.200-204
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
Ti depositionstatistics experiment designresistivityresistivityagglomeration
저자
  • 정성희 | Cheong, Seong-Hwee
  • 송오성 | 송오성
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