다양한 박막층을 채용한 코발트실리사이드의 물성 - koreascholar

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다양한 박막층을 채용한 코발트실리사이드의 물성 KCI 등재 SCOPUS

Characteristics of Cobalt Silicide by Various Film Structures

정성희, 송오성

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296158

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제13권 제5호 (2003.05)
pp.279-284

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

cobalt silicide interlayers capping layers ohmic layer TiN Ti salicide

저자

정성희 | Cheong, Seong-Hwee
송오성 | 송오성

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