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PECVD로 제조된 비정질 질화탄소 박막의 물성에 미치는 열처리 효과 KCI 등재 SCOPUS

Effects of Thermal Annealing on the Properties of Amorphous Carbon Nitride Films Deposited by PECVD

문형모, 김상섭
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296162
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제13권 제5호 (2003.05)
pp.303-308
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
carbon nitride filmPECVDamorphous filmthermal annealingtribology
저자
  • 문형모 | Moon, Hyung-Mo
  • 김상섭 | 김상섭
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