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적색검출 Si 포토다이오드의 광반사 방지막 처리
KCI 등재
SCOPUS
Antireflection Layer Coating for the Red Light Detecting Si Photodiode
장지근
,
황용운
,
조재욱
,
이상열
언어
KOR
URL
https://db.koreascholar.com/Article/Detail/296178
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한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제13권 제6호 (2003.06)
pp.389-393
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
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키워드
Si photodiode
antireflection layer
SiO2
Si3N4/SiO2
reflectance
photocurrent
저자
장지근 | Chang, Gee-Keun
황용운 | 황용운
조재욱 | 조재욱
이상열 | 이상열
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