초 저 에너지 이온주입으로 고 조사량 B 이온 주입된 실리콘의 Deactivation 현상

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Deactivation Kinetics in Heavily Boron Doped Silicon Using Ultra Low Energy Ion Implantation

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

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