테트라메틸사일렌을 이용한 탄화규소 나노로드의 성장 - koreascholar

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테트라메틸사일렌을 이용한 탄화규소 나노로드의 성장 KCI 등재 SCOPUS

Growth of SiC Nanorod Using Tetramethylsilane

노대호, 김재수, 변동진, 양재웅, 김나리

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296181

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제13권 제6호 (2003.06)
pp.404-408

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

SiC nanorod SiC Spin coating Tetramethylsilane CVD

저자

노대호 | Rho, Dae-Ho
김재수 | 김재수
변동진 | 변동진
양재웅 | 양재웅
김나리 | 김나리

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