Ti-capping층이 NiSi의 열적안정성에 미치는 영향 - koreascholar

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Ti-capping층이 NiSi의 열적안정성에 미치는 영향 KCI 등재 SCOPUS

Effects of Ti-capping Layers on the Thermal Stability of NiSi

박수진, 이근우, 김주연, 전형탁, 배규식

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296191

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제13권 제7호 (2003.07)
pp.460-464

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

Ti-capped NiSi thermal stability interface roughness Ni diffusion

저자

박수진 | Park, Soo-Jin
이근우 | 이근우
김주연 | 김주연
전형탁 | 전형탁
배규식 | 배규식

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