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질화물 반도체의 미세구조 분석을 위한 최적의 TEM 시편 준비법 KCI 등재 SCOPUS

Optimization of TEM Sample Preparation for the Microstructural Analysis of Nitride Semiconductors

조형균, 김동찬
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296214
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제13권 제9호 (2003.09)
pp.598-605
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
nitrideTEMmicrocstructuredefecttripod polisher
저자
  • 조형균 | Cho, Hyung-Koun
  • 김동찬 | 김동찬
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