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나노인덴테이션과 주사탐침현미경을 이용한 박막 재료의 특성평가 KCI 등재 SCOPUS

Characterization of Thin Film Materials by Nanoindentation and Scanning Probe Microscopy

김봉섭, 윤존도, 김종국
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296215
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제13권 제9호 (2003.09)
pp.606-612
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
nanoindentationscanning probe microscopyhardnesselastic modulusthin film
저자
  • 김봉섭 | Kim, Bong-seob
  • 윤존도 | 윤존도
  • 김종국 | 김종국
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