적외선 센서를 위해 흡수층으로서 rf Magnetron Sputtering에 의해 제조된 NiCr 박막의 특성

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Characteristics of NiCr Thin Films Prepared by rf Magnetron Sputtering as Absorption Layer for Infrared Sensors

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

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