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MOCVD법과 MOD법으로 제작된 Ta2O5 박막의 열처리 온도에 따른 유전특성연구 KCI 등재 SCOPUS
Dielectric Properties of Ta2O5 Films Annealed at Various Temperature by MOCVD and MOD
강필규, 진정근, 변동진, 배재준, 남산
- 언어KOR
- URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296250
4,000원
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제13권 제12호 (2003.12)
pp.801-805
pp.801-805
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
