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MOCVD법과 MOD법으로 제작된 Ta2O5 박막의 열처리 온도에 따른 유전특성연구 KCI 등재 SCOPUS

Dielectric Properties of Ta2O5 Films Annealed at Various Temperature by MOCVD and MOD

강필규, 진정근, 변동진, 배재준, 남산
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296250
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제13권 제12호 (2003.12)
pp.801-805
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
Ta2O5MODMOCVD
저자
  • 강필규 | Kang, Pil-Kyu
  • 진정근 | 진정근
  • 변동진 | 변동진
  • 배재준 | 배재준
  • 남산 | 남산
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