실리콘 Intrinsic Gettering 기술의 이해와 응용 - koreascholar

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실리콘 Intrinsic Gettering 기술의 이해와 응용 KCI 등재 SCOPUS

Silicon Intrinsic Gettering Technology: Understanding and Practice

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296260

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제14권 제1호 (2004.01)
pp.9-12

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

intrinsic gettering denuded zone oxygen precipitation oxide precipitate wafer cleaning

저자

최광수 | Choe, Kwang Su

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