TFT-LCDs 게이트 전극에 적용한 Cu(Mg) 합금 박막의 건식식각

논문 상세보기

A Dry-patterned Cu(Mg) Alloy Film as a Gate Electrode in a Thin Film Transistor Liquid Crystal Displays (TFT- LCDs)

구독 기관 인증 시 무료 이용이 가능합니다. 4,000원

한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

Cu alloy Cu Mg Metallization MgO mask

저자

같은 권호 다른 논문