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원료물질에 따른 실리콘 질화막의 원자층 증착 특성 비교 KCI 등재 SCOPUS

A Comparative Study on the Precursors for the Atomic Layer Deposition of Silicon Nitride Thin Films

이원준, 이주현, 이연승, 나사균, 박종욱
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296281
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제14권 제2호 (2004.02)
pp.141-145
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
thin filmsdielectricsnitridesX-ray photoelectron spectroscopyXPS
저자
  • 이원준 | Lee, Won-Jun
  • 이주현 | 이주현
  • 이연승 | 이연승
  • 나사균 | 나사균
  • 박종욱 | 박종욱
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