이온플레이팅법으로 제조된 TiAlLaN계 박막의 산화속도 - koreascholar

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이온플레이팅법으로 제조된 TiAlLaN계 박막의 산화속도 KCI 등재 SCOPUS

Oxidation Rates of TiAlLaN Thin Films Deposited by Ion Plating

서성만, 이기선, 이기안

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296285

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제14권 제3호 (2004.03)
pp.163-167

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

TiAlN oxidation oxide film oxidation rate Lanthanum

저자

서성만 | Seo, Sung Man
이기선 | 이기선
이기안 | 이기안

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