초소형 전자칼럼의 제작 및 특성 연구 - koreascholar

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초소형 전자칼럼의 제작 및 특성 연구 KCI 등재 SCOPUS

New Fabrication Method of the Electron Beam Microcolumn and Its Performance Evaluation

안승준, 김대욱, 김영철, 안성준, 김영정, 김호섭

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296289

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제14권 제3호 (2004.03)
pp.186-190

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

electron beam microcolumn laser diffraction pattern electron optics laser alignment electron beam lithography

저자

안승준 | Ahn, S
김대욱 | 김대욱
김영철 | 김영철
안성준 | 안성준
김영정 | 김영정
김호섭 | 김호섭

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