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차세대 공정에 적용 가능한 Cu(B)/Ti/SiO2/Si 구조 연구 KCI 등재 SCOPUS

A Study on Cu(B)/Ti/SiO2/Si Structure for Application to Advanced Manufacturing Process

이섭, 이재갑
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296299
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제14권 제4호 (2004.04)
pp.246-250
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
CuboronTiB2
저자
  • 이섭 | Lee, Seob
  • 이재갑 | 이재갑
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