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ZnO ALE를 위한 Si, sapphire기판의 ECR 플라즈마 전처리 KCI 등재 SCOPUS

ECR Plasma Pretreatment on Sapphire and Silicon Substrates for ZnO ALE

  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296320
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 임종민 | Lim, Jongmin
  • 신경철 | 신경철
  • 이종무 | 이종무