ZnO ALE를 위한 Si, sapphire기판의 ECR 플라즈마 전처리 - koreascholar

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ZnO ALE를 위한 Si, sapphire기판의 ECR 플라즈마 전처리 KCI 등재 SCOPUS

ECR Plasma Pretreatment on Sapphire and Silicon Substrates for ZnO ALE

임종민, 신경철, 이종무

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296320

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제14권 제5호 (2004.05)
pp.363-367

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

pretreatment plasma ALE ZnO

저자

임종민 | Lim, Jongmin
신경철 | 신경철
이종무 | 이종무

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