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코발트/니켈 복합실리사이드의 실리사이드온도에 따른 면저항과 미세구조 변화 KCI 등재 SCOPUS

Sheet Resistance and Microstructure Evolution of Cobalt/Nickel Silicides with Annealing Temperature

정영순, 정성희, 송오성
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296324
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제14권 제6호 (2004.06)
pp.389-393
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
SilicidationCo/Ni silicideRTANickel monosilicideMicrostructurePhase composition
저자
  • 송오성 | 송오성
  • 정성희 | 정성희
  • 정영순 | Jung, Young-soon
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