WSi2 word-line 및 bit-line용 spacer-Si3N4 박막의 증착 - koreascholar

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WSi2 word-line 및 bit-line용 spacer-Si3N4 박막의 증착 KCI 등재 SCOPUS

Deposition of Spacer-Si3N4 Thin Film for WSi2 Word-Line and Bit-Line

안승준, 김대욱, 김종해, 안성준, 김영정, 김호섭

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296327

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제14권 제6호 (2004.06)
pp.402-406

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

Spacer-Si3N4 thin film WWSi2 thin film Metal silicide Word-line Bit-line

저자

안승준 | Ahn, S.
김대욱 | 김대욱
김종해 | 김종해
안성준 | 안성준
김영정 | 김영정
김호섭 | 김호섭

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