MILC 성장 속도에 비정질 실리콘의 기하학적 형상이 미치는 영향 - koreascholar

논문 상세보기

MILC 성장 속도에 비정질 실리콘의 기하학적 형상이 미치는 영향 KCI 등재 SCOPUS

The Effect of Geometric Shape of Amorphous Silicon on the MILC Growth Rate

김영수, 김민선, 주승기

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296339

구독 기관 인증 시 무료 이용이 가능합니다. 4,000원

한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제14권 제7호 (2004.07)
pp.477-481

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

MILC metal induced lateral crystallization incubation time amorphous silicon pattern width tensile stress

저자

김영수 | Kim, Young-Su
김민선 | 김민선
주승기 | 주승기

같은 권호 다른 논문