GaN 성장을 위한 기판의 Ion Implantation 전처리에 관한 연구 - koreascholar

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GaN 성장을 위한 기판의 Ion Implantation 전처리에 관한 연구 KCI 등재 SCOPUS

Study of pretreatment with ion implantation on substrate for GaN

이재석, 진정근, 변동진, 이재상, 이재형, 고의관

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296342

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제14권 제7호 (2004.07)
pp.494-499

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

ion-implantation GaN MOCVD

저자

이재석 | Lee, J.
진정근 | 진정근
변동진 | 변동진
이재상 | 이재상
이재형 | 이재형
고의관 | 고의관

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