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중수소 프라즈마 처리가 다결정 실리콘 TFT의 안정성에 미치는 영향에 관한 연구 KCI 등재 SCOPUS

A Study on the Effect of Plasma Deuterium Treatment on Reliability of Poly-Silicon Thin Film Transistors

손송호, 배성찬, 김동환
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296346
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제14권 제7호 (2004.07)
pp.516-521
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
hot electron degradationdeuteriumreliabilityTFT
저자
  • 손송호 | Sohn, Song Ho
  • 배성찬 | 배성찬
  • 김동환 | 김동환
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