Co/Ni 복합실리사이드의 메탈 콘택 건식식각 안정성 연구 - koreascholar

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Co/Ni 복합실리사이드의 메탈 콘택 건식식각 안정성 연구 KCI 등재 SCOPUS

Stability of Co/Ni Silicide in Metal Contact Dry Etch

송오성, 범성진, 김득중

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296355

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제14권 제8호 (2004.08)
pp.573-578

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

contact etch Co/Ni silicide composite silicide etch selectivity silicide

저자

송오성 | Song, Ohsung
범성진 | 범성진
김득중 | 김득중

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