수소 환원기체와 (hfac)Cu(3,3-dimethyl-1-butene) 증착원을 이용한 Pulsed MOCVD로 Cu seed layer 증착 특성에 미치는 영향에 관한 연구

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Pulsed MOCVD of Cu Seed Layer Using a (hfac)Cu(3,3-dimethyl-1-butene) Source and H2 Reactant

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

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Cu seed layer pulsed MOCVD

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