RF-PECVD 법으로 제조된 비정질 BON박막의 산화 - koreascholar

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RF-PECVD 법으로 제조된 비정질 BON박막의 산화 KCI 등재 SCOPUS

Oxidation of Amorphous BON Thin Films Grown by RF-PECVD

김재운, 부진효, 이동복

언어KOR
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제14권 제10호 (2004.10)
pp.683-687

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

oxidation thin film boron oxygen nitrogen

저자

김재운 | Kim, J. W.
부진효 | 부진효
이동복 | 이동복

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