FeRAM 소자 제작 중에 발생하는 Pt/Al 반응 기구 - koreascholar

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FeRAM 소자 제작 중에 발생하는 Pt/Al 반응 기구 KCI 등재 SCOPUS

Pt/Al Reaction Mechanism in the FeRAM Device Integration

조경원, 홍태환, 권순용, 최시경

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296373

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제14권 제10호 (2004.10)
pp.688-695

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

FeRAM Pt/Al interface

저자

조경원 | Cho, Kyoung-Won
홍태환 | 홍태환
권순용 | 권순용
최시경 | 최시경

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