Cu(B)/Ti/SiO2 구조를 열처리할 때 일어나는 미세구조 변화에 미치는 Ti 하지층 영향

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Effects of Ti Underlayer on Microstructure in Cu(B)/Ti/SiO2 Structure upon Annealing

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

Cu alloy Cu B titanium boride

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