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HFCVD법에 의한 H2 다이아몬드 박막 제조에 수소가 미치는 영향 KCI 등재 SCOPUS

Effect of H2 on The Diamond Film Growth Mechanism by HFCVD Method Using CH3OH/H2O

이권재, 신재수, 권기홍, 이민수, 고재귀
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296397
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제14권 제12호 (2004.12)
pp.835-839
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
HFCVD methoddiamond filmgrowth mechanism
저자
  • 이권재 | Lee, Kwon-Jai
  • 신재수 | 신재수
  • 권기홍 | 권기홍
  • 이민수 | 이민수
  • 고재귀 | 고재귀
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