PE-ALD를 이용한 SnO2 Thin Film의 특성 - koreascholar

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PE-ALD를 이용한 SnO2 Thin Film의 특성 KCI 등재 SCOPUS

Characteristics of Tin Oxide Thin Films Deposited by PE-ALD

박용주, 이운영, 최용국, 이현규, 박진성

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296398

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제14권 제12호 (2004.12)
pp.840-845

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

thin films tin oxide ALD surface reaction

저자

박용주 | Park, Yongju
이운영 | 이운영
최용국 | 최용국
이현규 | 이현규
박진성 | 박진성

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