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ZrO2 MIM 캐패시터의 구조, 표면 형상 및 전기적 특성 KCI 등재 SCOPUS

The Structure, Surface Morphology and Electrical Properties of ZrO2 Metal-insulator-metal Capacitors

김대규, 이종무
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296432
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제15권 제2호 (2005.02)
pp.139-142
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
Gate dielectricsrf-magnetron sputteringI-V characteristic curveC-V characteristic curve
저자
  • 김대규 | Kim, Dae Kyu
  • 이종무 | 이종무
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