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핫 엠보싱용 점착방지막으로 사용되는 10nm급 두께의 Teflon-like 박막의 형성 및 특성평가 KCI 등재 SCOPUS

The Deposition and Characterization of 10 nm Thick Teflon-like Anti-stiction Films for the Hot Embossing

차남구, 김인권, 박창화, 임현우, 박진구
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296434
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제15권 제3호 (2005.03)
pp.149-154
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
nanoimprinting hot embossinganti-stiction layerchemical vapor depositionAFM/LFM
저자
  • 차남구 | Cha, Nam-Goo
  • 김인권 | 김인권
  • 박창화 | 박창화
  • 임현우 | 임현우
  • 박진구 | 박진구
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