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고밀도 평판형 유도결합 BCl3/SF6 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs와 InGaP 반도체의 선택적 식각에 관한 연구 KCI 등재 SCOPUS

Study of Selective Etching of GaAs over AlGaAs and InGaP Semiconductors in High Density Planar Inductively Coupled BCl3/SF6 Plasmas

유승열, 류현우, 임완태, 이제원, 조관식, 전민현, 송한정, 이봉주, 고종수, 고정상
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296436
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제15권 제3호 (2005.03)
pp.161-165
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
ICPGaAsAlGaAsInGaPselective etching
저자
  • 유승열 | Yoo, Seungryul
  • 류현우 | 류현우
  • 임완태 | 임완태
  • 이제원 | 이제원
  • 조관식 | 조관식
  • 전민현 | 전민현
  • 송한정 | 송한정
  • 이봉주 | 이봉주
  • 고종수 | 고종수
  • 고정상 | 고정상
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