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게이트를 상정한 니켈 실리사이드 박막의 물성과 미세구조 변화 KCI 등재 SCOPUS

Property and Microstructure Evolution of Nickel Silicides for Poly-silicon Gates

정영순, 송오성, 김상엽, 최용윤, 김종준
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296458
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제15권 제5호 (2005.05)
pp.301-305
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
nickel mono silicidegate silicidesilicidessalicidegate oxide
저자
  • 정영순 | Jung, Youngsoon
  • 송오성 | 송오성
  • 김상엽 | 김상엽
  • 최용윤 | 최용윤
  • 김종준 | 김종준
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