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게이트를 상정한 니켈 실리사이드 박막의 물성과 미세구조 변화 KCI 등재 SCOPUS
Property and Microstructure Evolution of Nickel Silicides for Poly-silicon Gates
정영순, 송오성, 김상엽, 최용윤, 김종준
- 언어KOR
- URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296458
4,000원
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제15권 제5호 (2005.05)
pp.301-305
pp.301-305
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
키워드
nickel mono silicidegate silicidesilicidessalicidegate oxide
저자
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