질소 도핑된 P/P- Epitaxial Silicon Wafer의 Slip 및 강도 평가 - koreascholar

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질소 도핑된 P/P- Epitaxial Silicon Wafer의 Slip 및 강도 평가 KCI 등재 SCOPUS

Evaluation of Slip and Strength of Nitrogen doped P/P- Epitaxial Silicon Wafers

최은석, 배소익

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296460

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제15권 제5호 (2005.05)
pp.313-317

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

mechanical strength slip BMD Nitrogen doping

저자

최은석 | Choi, Eun-Suck
배소익 | 배소익

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