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고출력 저에너지 이온빔을 이용한 InP(100) 표면의 나노 패턴형성 KCI 등재 SCOPUS
Fabrication of Nanostructures on InP(100) Surface with Irradiation of Low Energy and High Flux Ion Beams
박종용, 최형욱, 정연식, 최원국
- 언어KOR
- URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296467
4,000원
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제15권 제6호 (2005.06)
pp.361-369
pp.361-369
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
키워드
Closed electron Hall drift thrustersurface energysurface modification by low energy ion beamx-ray photoelectronnanostructure
저자
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