Cu-CMP에서 Alanine이 Cu와 TaN의 선택비에 미치는 영향 - koreascholar

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Cu-CMP에서 Alanine이 Cu와 TaN의 선택비에 미치는 영향 KCI 등재 SCOPUS

Effect of Alanine on Cu/TaN Selectivity in Cu-CMP

박진형, 김민석, 백운규, 박재근

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296477

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제15권 제6호 (2005.06)
pp.426-430

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

Copper CMP Alanine Colloidal silica slurry Slurry pH Selectivity

저자

박진형 | Park, Jin-Hyung
김민석 | 김민석
백운규 | 백운규
박재근 | 박재근

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