연속 ECR-CVD 조업하에 RF-magnetron-sputter의 싸이클조업을 통해 PET위에 올려진 구리박막의 특성

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Characteristic of Copper Films on PET Substrate Deposited by Cyclic Operation of RF-magnetron-sputtering Coupled with Continuous Operation of ECR-CVD

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

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