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ALD법으로 증착한 ZnO 박막의 열처리 분위기에 따른 구조적, 전기적 특성 비교 KCI 등재 SCOPUS

Comparison of Nitrogen and Oxygen Annealing Effects on the Structural, Optical and Electrical Properties of ALD-ZnO Thin Films

박연규, 박안나, 이종무
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296493
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제15권 제8호 (2005.08)
pp.514-517
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
Znoannealingphotoluminescencecrystallinityelectrical properties
저자
  • 박연규 | Park, Y. K.
  • 박안나 | 박안나
  • 이종무 | 이종무
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