마그네트런 스퍼터링법으로 증착한 투명전극용 Al도핑된 ZnO의 공정 분위기에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성비교

임근빈; 이종무

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마그네트런 스퍼터링법으로 증착한 투명전극용 Al도핑된 ZnO의 공정 분위기에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성비교 KCI 등재 SCOPUS

Dependence of the Structural, Electrical, and Optical Properties of Al-doped ZnO Films for Transparent Conductors on the Process Atmosphere in Magnetron Sputtering

임근빈, 이종무

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296494

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제15권 제8호 (2005.08)
pp.518-520

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

RF-magnetron sputtering Al doping gas flow ratio transparent conductor

저자

임근빈 | Yim, Keun-Bin
이종무 | 이종무

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