원거리 플라즈마 ALD법으로 증착한 ZrN박막의 특성 연구 - koreascholar

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원거리 플라즈마 ALD법으로 증착한 ZrN박막의 특성 연구 KCI 등재 SCOPUS

Characteristics of ZrN Films Deposited by Remote PEALD Method Using TDEAZ Precursor

조승찬, 황윤철, 이근우, 한세진, 김인배, 전형탁, 김양도

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296506

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제15권 제9호 (2005.09)
pp.594-597

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

remote PEALD ZrN films diffusion barrier

저자

조승찬 | Cho, Seung Chan
황윤철 | 황윤철
이근우 | 이근우
한세진 | 한세진
김인배 | 김인배
전형탁 | 전형탁
김양도 | 김양도

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