Cosputtering법으로 증착한 ZnO박막의 Al도핑농도가 미세구조 및 물리적 특성에 끼치는 효과

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Effects of Al Doping Concentration on the Microstructure and Physical Properties of ZnO Thin Films Deposited by Cosputtering

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

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