ZnO 성장을 위한 Atomic Layer Deposition법에서 공정온도가 박막의 구조적 및 광학적 특성에 미치는 영향

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Effects of Substrate Temperature on the Microstructure and Photoluminescence Properties of ZnO Thin Films by Atomic Layer Deposition

임종민, 이종무

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

ZnO thin filmsatomic layer depositionsubstrate temperature microstructurephotoluminescence

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