반응성 스퍼터링법으로 증착된 CoNx 중간층을 이용한 (100)Si 기판 위에서의 에피택셜 CoSi2 성장 연구

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Epitaxial Growth of CoSi2 Layer on (100)Si Substrate using CoNx Interlayer deposited by Reactive Sputtering

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

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