산성용액을 이용한 아연산화물 반도체의 습식 식각 특성 - koreascholar

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산성용액을 이용한 아연산화물 반도체의 습식 식각 특성 KCI 등재 SCOPUS

Wet-etch Characteristics of ZnO Using Acidic Solutions

오정훈, 이지면

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296558

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제16권 제1호 (2006.01)
pp.63-67

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

etch microstructure surface roughness hexagonal pyramid ZnO

저자

오정훈 | Oh, Jung-Hoon
이지면 | 이지면

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