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Dewetting된 Pt Islands를 Etch Mask로 사용한 GaN 나노구조 제작 KCI 등재 SCOPUS

Fabrication of Nanostructures by Dry Etching Using Dewetted Pt Islands as Etch-masks

  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296572
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 김택승 | Kim, Taek-Seung
  • 이지면 | 이지면