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PECVD를 이용한 금속 스탬프용 점착방지막 형성과 특성 평가 KCI 등재 SCOPUS
Fabrication and Characterization of an Antistiction Layer by PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) for Metal Stamps
차남구, 박창화, 조민수, 김규채, 박진구, 정준호, 이응숙
- 언어KOR
- URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296584
4,000원
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제16권 제4호 (2006.04)
pp.225-230
pp.225-230
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
키워드
Nanoimprint lithographyNILAnti-stiction layerPECVDplasma enhanced chemical vapor deposition
저자
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