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RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 SiO2/Si(100) 기판위에 성장시킨 ZnO 박막의 구조 및 광특성 KCI 등재 SCOPUS

Structural and Optical Properties of ZnO Thin Films Grown on SiO2/Si(100) Substrates by RF Magnetron Sputtering

한석규, 홍순구, 김효진, 이재욱, 이정용
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296608
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제16권 제6호 (2006.06)
pp.360-366
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
ZnORF magnetron sputteringPLTEMgrain sizegrain boundarynonradiation recombination
저자
  • 한석규 | Han, Seok Kyu
  • 홍순구 | 홍순구
  • 김효진 | 김효진
  • 이재욱 | 이재욱
  • 이정용 | 이정용
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