rf 마그네트런 스퍼터링법으로 Si 기판위에 증착한 ZnO 박막의 결정성과 photoluminescence 특성에 대한 Zn 완충층 두께의 영향

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Effects of ZnO Buffer Layer Thickness on the Crystallinity and Photoluminescence Properties of Rf Magnetron Sputter-deposited ZnO Thin Films

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

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